2024.03.28 (목)

  • 구름많음속초10.0℃
  • 흐림9.2℃
  • 맑음철원9.9℃
  • 맑음동두천9.7℃
  • 맑음파주9.6℃
  • 맑음대관령5.0℃
  • 흐림춘천9.6℃
  • 황사백령도6.4℃
  • 구름많음북강릉10.4℃
  • 구름조금강릉11.9℃
  • 흐림동해9.6℃
  • 구름많음서울10.0℃
  • 박무인천8.9℃
  • 흐림원주10.1℃
  • 비울릉도10.2℃
  • 구름많음수원9.8℃
  • 흐림영월8.8℃
  • 흐림충주9.0℃
  • 맑음서산9.2℃
  • 흐림울진9.5℃
  • 박무청주10.3℃
  • 박무대전9.0℃
  • 구름많음추풍령7.5℃
  • 흐림안동7.9℃
  • 흐림상주7.9℃
  • 비포항11.5℃
  • 흐림군산10.3℃
  • 흐림대구9.5℃
  • 박무전주10.5℃
  • 비울산11.7℃
  • 구름많음창원10.5℃
  • 흐림광주11.2℃
  • 비부산13.1℃
  • 구름많음통영11.4℃
  • 흐림목포10.5℃
  • 구름조금여수12.2℃
  • 흐림흑산도9.0℃
  • 흐림완도11.9℃
  • 흐림고창9.9℃
  • 구름많음순천10.9℃
  • 맑음홍성(예)10.0℃
  • 흐림9.0℃
  • 흐림제주12.2℃
  • 흐림고산11.4℃
  • 구름많음성산13.2℃
  • 구름조금서귀포13.6℃
  • 구름많음진주9.3℃
  • 맑음강화8.4℃
  • 흐림양평9.7℃
  • 흐림이천9.6℃
  • 흐림인제9.7℃
  • 흐림홍천9.2℃
  • 구름많음태백5.6℃
  • 흐림정선군7.3℃
  • 흐림제천7.5℃
  • 흐림보은8.8℃
  • 흐림천안9.8℃
  • 맑음보령9.7℃
  • 흐림부여10.1℃
  • 흐림금산8.9℃
  • 흐림9.4℃
  • 흐림부안10.2℃
  • 흐림임실9.9℃
  • 흐림정읍10.5℃
  • 흐림남원10.1℃
  • 흐림장수8.0℃
  • 흐림고창군10.8℃
  • 흐림영광군10.1℃
  • 흐림김해시10.3℃
  • 흐림순창군10.8℃
  • 흐림북창원10.8℃
  • 흐림양산시12.3℃
  • 흐림보성군12.7℃
  • 흐림강진군12.2℃
  • 흐림장흥12.2℃
  • 흐림해남11.2℃
  • 구름많음고흥12.1℃
  • 구름많음의령군9.9℃
  • 구름많음함양군8.7℃
  • 구름조금광양시10.8℃
  • 흐림진도군10.6℃
  • 구름많음봉화8.3℃
  • 구름많음영주9.2℃
  • 구름많음문경8.0℃
  • 흐림청송군8.0℃
  • 흐림영덕10.1℃
  • 구름많음의성9.1℃
  • 구름많음구미8.8℃
  • 흐림영천9.4℃
  • 흐림경주시10.5℃
  • 구름많음거창8.1℃
  • 구름많음합천9.7℃
  • 흐림밀양11.3℃
  • 흐림산청9.9℃
  • 흐림거제11.0℃
  • 구름많음남해11.1℃
  • 흐림12.5℃
기상청 제공
사이버옵틱스, 세미콘 코리아서 ‘웨이퍼센스 오토 레지스턴스 센서’ 전시
  • 해당된 기사를 공유합니다

사이버옵틱스, 세미콘 코리아서 ‘웨이퍼센스 오토 레지스턴스 센서’ 전시

반도체 수율과 장비 가동 시간 현저히 개선

3554238800_20200122091826_3352476125.jpg
사이버옵틱스의 웨이퍼센스 오토 레지스턴스 센서

 

사이버옵틱스 코퍼레이션(CyberOptics® Corporation)(나스닥: CYBE)이 2020년 2월 5~7일 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아(SEMICON Korea)’에 부스(#C236)를 열고 반도체 장비 세트업과 진단을 위한 ‘웨이퍼센스(WaferSense®) 오토 레지스턴스 센서(Auto Resistance Sensor™, 약칭 ARS)’와 ‘사이버스펙트럼(CyberSpectrum™)’ 소프트웨어를 전시한다.

사이버옵틱스는 고정밀 3D 감지 기술 솔루션을 개발, 제조하는 세계 선도 기업이다.

‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어와 함께 제공되는 300mm의 ARS는 반도체 전기화학 증착(Electrochemical Deposition, 약칭 ED) 애플리케이션에서 도금 셀 접촉의 저항을 실시간 측정할 수 있게 해준다. ARS는 도금 핀에 영향을 미치는 잔류물을 감지하는 켈빈 센싱법(Kelvin Sensing)(4선 저항)을 사용해 50개의 주변 개별패드로 저항 측정을 신속하게 식별하고 모니터링한다.

반도체 팹의 프로세스 및 장비 엔지니어는 일정 시간 후 측정된 평균 저항을 정량 분석해 장비 보수가 필요한 시기를 예측하고 장비 유지보수 주기를 단축하며, 웨이퍼와 같은 4선 저항 센서 및 ‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어의 객관적이고 반복 가능한 데이터로 셀 간 균일성을 향상시킬 수 있다.

수보드 쿨카니(Subodh Kulkarni) 사이버옵틱스 사장 겸 최고경영자(CEO)는 “우리는 전 세계 반도체 팹과 장비 주문자상표부착생산(OEM) 업체에서 사용되는 독자적인 웨이퍼센스 장비 라인을 확대해 수율과 장비 가동 시간을 크게 개선했다”고 밝혔다. 그는 “새로 출시한 ARS는 무선으로 반도체 팹 내 전기화학 증착 애플리케이션에 대한 실시간 저항 측정을 감지, 모니터링할 수 있다”며 “사이버옵틱스의 다른 웨이퍼센스 장비와 마찬가지로 ARS는 시간과 비용을 절감하고 프로세스를 개선할 수 있다”고 설명했다.

사이버옵틱스는 ‘웨이퍼 센스 오토 바이브레이션 레벨링 센서(Auto Vibration and Leveling Sensor, 약칭 AVLS3)’도 함께 전시할 예정이다. 두께가 3.5mm에 불과한 AVLS3은 웨이퍼가 배송되는 대부분의 팹 위치로 쉽게 운송할 수 있다. 화학적 강화 유리(Chemically Hardened Glass, 약칭 CHG) 기판은 웨이퍼를 쉽게 다룰 수 있도록 해주며 진공 처킹(vacuum chucking)을 개선해준다. AVLS3과 사이버스펙트럼 소프트웨어는 진동과 조절 데이터를 동시에 수집, 보여줌으로써 신속한 장비 세트업과 실시간 장비 진단을 지원한다.

상세 정보는 웹사이트(www.cyberoptics.com)에서 찾아볼 수 있다.